SAT 3000 透射電鏡樣品桿等離子清洗機（Plasma）

一、應用領域

    主要用于TEM透射電鏡樣品桿的清洗和真空檢漏。

二、實驗應用

 透射電鏡樣品桿清洗機主要用于TEM透射電鏡樣品桿的清洗和真空檢漏。

 三、設備原理

 SAT透射電鏡樣品桿清洗機采用遠程等離子清洗源，清潔快速高效、低轟擊損傷，同時也可以作為常規等離子清洗。

四、技術特點

  遠程等離子源、一機多用、清潔快速高效、低轟擊損傷.

 五、技術規格

1.7寸全彩觸摸屏智能程序化操控方式，人機互動界面。

2.手動、自動兩種工作模式，可根據客戶需求任意切換，自動工作模式下可編程，自動完成整個清洗過程。

*3.清洗室:尺寸：?180ⅹH100mm，材質：不銹鋼

*4.清洗數量：可以同時清洗3支TEM樣品桿。

*5.適配TEM品牌：美國THERMO   FISHER (FED、日本日立(HITACHI)、日本電子(JEOL)等，或者您提供準確的TEM樣品桿的尺寸（直徑*長度）我們來定做，都可以滿足您的樣品桿清潔

*6.13.56MHz射頻RF電源.

*7.射頻功率5-150W無極可調

*8.遠程等離子源，自動匹配器。

9.真空控制：皮拉尼真空計，測量范圍：1.0E-5Pa—1E+5Pa。

10.真空保證：真空計和電磁閥互鎖。

11.真空系統：

     1）前級泵：國產機械油泵，抽氣速率：2.5 m3/h

     2）分子泵：極限真空LF<8ⅹ10-6Pa,CF<8ⅹ10-7Pa，  抽速：85L/S(N2)     ，入口法蘭：DN63   ISO-K(LF)/CF

12.工作氣體：氧氣、氮氣、氬氣等惰性氣體，也可以直接通入空氣。

13.標配單路質量流量計（MFC)可選雙路。0一500S，自動控制氣體流量，不會受環境溫度和壓力變化影響

14.艙體、管路、閥體全部采用優質不銹鋼材質。

15.電源220V，50/60Hz。

16.產品尺寸：L565xw505xH560mm    重量：約68Kg